晶圓的製作
硅石(silica). SiO. 2. 以碳還原. 不純矽. 氯化. 純度99%. 冶金級矽. 液態矽烷. 分餾. SiH. 4. , SiCl. 4. , SiClH. 3. 等. 總稱silane. 超純矽烷. 以氫還原. 超純複晶矽 ...
硅石(silica). SiO. 2. 以碳還原. 不純矽. 氯化. 純度99%. 冶金級矽. 液態矽烷. 分餾. SiH. 4. , SiCl. 4. , SiClH. 3. 等. 總稱silane. 超純矽烷. 以氫還原. 超純複晶矽 ...
冶金級矽(Metallurgical-Grade Si,MG-Si)矽系太陽能電池的材料,主要可以分為單晶矽、多晶矽和非晶矽3 大類。製造多晶矽或單晶矽之起始原料仍然是矽元素,矽 ...
單晶矽. (sc-Si). 多晶矽. (mc-Si). 西門子製程. 乙西爾製程. CZ. FZ. Casting. Ribbon. 6. 冶金級矽(MG-Si)的製程-1. 冶金級矽材料的製程流程- 碳熱還原製程法的示意圖.
360°科技-冶金級矽. 黃女瑛; 2007-09-03. 目前矽晶太陽能所用的材料均是以半導體用的多晶矽(Polysilicon)為主,導致多晶矽供應無法因應持續成長中的半導體產業 ...
2011年7月1日 - 多晶矽與單晶矽在太陽能電池之使用上十分普遍,而大部分的矽原料來自於西門子法製程,爲了降低矽晶太陽能電池的生產成本,冶金級 ...
2012年8月28日 - 多晶矽按純度分類可以分為冶金級(工業矽)、太陽能級、電子級。1、冶金級矽(MG):是矽的氧化物在電弧爐中被碳還原而成。一般含Si為90-95%以上 ...
砂到冶金級矽(MGS). •MGS粉與HCl氣體反應形成三氯矽烷(TCS). •經氣化及冷凝進行TCS的純化. •TCS與H. 2. 反應形成多晶矽或電子級矽(EGS). •融熔EGS拉成單晶 ...
針對矽基(Silicon Wafer based)太陽能電池之原料–超高純度矽進行開發,其主要之技術包含(1)冶金級矽製粉技術、(2)矽粉末酸液浸蝕技術(Acid Leaching)及(3)矽 ...