半導體製程設備- 張勁燕- Google Books

半導體製程設備. Front Cover. 張勁燕. 五南圖書出版股份有限公司, 2005 - 614 pages. 0 Reviews. 本?包括晶体成?和晶?制作、磊晶沉???、微影照像??、化?气相沉 ...

博客來-半導體製程設備(四版)

書名:半導體製程設備(四版),語言:繁體中文,ISBN:9789571152509,頁數:600,出版社:五南,作者:張勁燕,出版日期:2009/09/01,類別:專業/教科書/政府出版品.

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半導體製程設備. 張勁燕- 五南圖書出版有限公司,2009-09-01 出版. 半導體元件由矽土製成矽晶圓, 再經數百個製程步驟,才製作出256M級的DRAM。這期間所使用 ...

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