標籤: 常数薄膜

國圖紙本論文. 研究生: 朱正煒. 研究生(外文):, Chu Cheng-Wei. 論文名稱: 光學薄膜之光學常數測量方法之研究. 論文名稱(外文):, The research on the measurement ...

2003年2月20日 - 低介電常數薄膜技術的發展正如火如荼進行中，要成功整合低介電常數薄膜於多層導體內連線技術時，將面臨到許多的困難。尤其在引入一新的低介 ...

假設照射一束光波於薄膜，由於折射率不同，光波會被薄膜的上界面與下界面 ... 相位關係取決於兩個反射光不同的光程，而光程取決於薄膜厚度，光學常數，和波長。

第三章金屬薄膜光學常數之測量. 3.1 前言. 金屬薄膜的複數折射率及其厚度的量測在光學元件的製作品質上與. Kretschmann 組態結構上扮演著極重要的角色。

薄膜光学常数的测量- 薄膜光學常?的測? 輔大物?系?國基 前言： 光學薄膜特性?測，可以用到的儀器相當多，也可以相當貴。但光學薄膜從1950 ?代開始發展。1960 ?

它們具有一層層薄膜，薄膜的厚度與可見光波長同一個數量級，使得. 在膜層中來回反射 ... 與垂直薄膜面之法線的夾角，N為光經過之物質的光學常數(optical constant).

隨著半導體元件尺寸縮小，介電質的介電常數(k) 會明顯影響提高元件速度的能力， ... 晶片製造商逐步減小絕緣薄膜的介電值：從二氧化矽材料的4.0，到在180 奈米中 ...

光学薄膜常数－折射率、消光系数和膜层厚度是光学薄膜制备的基础，通过透射光谱法测试计算得到的薄膜常数具有较高的精度。Ta2O5是一种常用的氧化物薄膜， ...

一世代半導體產業的介電常數小於或等於 2 ,孔隙度必須高達 60 〜 709 ^ ,因此在 ... 低介電常數薄膜的製備以旋塗為主,厚度由幾千埃到一微米,薄膜不均勻度在 8 吋晶 ...

2007年8月30日 - Dow Corning表示，其最新的低介電常數碳化矽與氫化碳氧化矽(low-k SiC and H:SiOC)薄膜製造方法已獲得美國專利。這套方法利用電漿輔助化學 ...