濺鍍機介紹

射頻濺鍍機基本原理乃根據離子濺射原理,當高能粒子(通常是由電場加速的正離子) ... 靶材)吸引而撞擊陰極,入射離子(通常用氬氣)受到電場作用獲得動量,撞擊靶材 ...

Sputter 操作– 濺鍍 - 台大機械系

2017年10月14日 - 濺鍍機打開→破真空→裝上靶材與試片→抽真空→打電漿→濺鍍→關機. 34. Sputter 操作– 濺鍍. 濺鍍機打開→破真空→裝上靶材與試片→抽真空→ ...